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Chemischer Name |
Chemische Formel |
CAS-Nr. |
Molekulargewicht |
Siedepunkt / Bereich |
Gasdichte kg / m³ @ 20 ℃ |
Gefahrenklasse |
UN-Nr. |
Wasserstoff |
1,00 |
1333-74-0 |
1,00 |
-252,8 ℃ |
0,083 |
2.1 |
1954 |
Diborane |
27,69 |
19287-45-7 |
27,69 |
-92,5 ℃ |
1.159 |
Anwendung
Das Mischgas aus d Wasserstoff und Diboran wird hauptsächlich als Dotierstoff für die gasförmige Verunreinigungsquelle, die Ionenimplantation und die Diffusion der Bor-Dotierungsoxidation verwendet.
Prozess
Mischen
Notfallmaßnahmen
http://www.jh-gas.net/